艾斯爱建设(南京)有限公司烟台分公司
摘要：本文主要介绍了电子工厂洁净室的定义及等级划分，结合笔者工作实际，总结了洁净室施工管理组织架构和施工管理要点，对不同施工阶段标准、规范和注意事项进行了详细地论述，希望为电子工厂洁净室建设工程实践提供参考。
关键词：电子工厂；洁净室；施工管理
引言
近年来，随着我国科技的飞速发展，以集成电路生产技术为代表的电子工业实现了长足的进步，集成度越大，微粒控制径越小，对化学污染物的控制要求也越严格。电子工厂洁净室建设的目的就是要确保电子生产工艺的外部环境适宜，使产品的精度、质量得到保障。基于此，电子工厂洁净室建设要采用精细化的管理方式，明确施工要点，加强过程控制。
1洁净室概述
1.1洁净室定义
洁净室（Clean Room）又称无尘车间、洁净厂房等，不论哪一个称呼，都直接指出了其特性，即通过将环境中的微粒、有害气体、细菌等污染物排除以实现“洁净”、“无尘”，并将室内洁净度、温湿度、室压、气流速度与流向、照明度、噪音、静电等严格控制在规定范围内，确保其不受外界环境因素影响而变化，其洁净度等特性始终维持在设定的标准水平，以满足电子产品生产的适宜环境。洁净室功能如图１所示。
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图1 洁净室功能图
1.2洁净等级划分
在我国，洁净室建设主要参照《洁净厂房设计规范》和《洁净室施工及验收规范》等标准，其中将空气洁净度划分为9个级别，如表1所示。不同电子产品生产对空气洁净度等级的要求不同，详细参照《电子工厂洁净厂房设计规范》进行设计，确保其满足生产工艺设计要求。
表1 洁净室空气洁净度等级表
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2洁净室施工管理组织架构
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图2 洁净室施工管理组织架构图
在长期的工程实践中，笔者总结出较为高效的洁净室施工管理组织架构，如图2所示，主要人员自上而下包括区域施工经理、质量经理、安全经理、专业包主、现场工程师、安全员与专业施工员。实践中要划分职责范围，建立责任制度，各司其职、加强沟通协调，共同做好洁净室现场施工管理。
3洁净室施工管理要点
相较与普通厂房，洁净室建设最重要的目标就是进行洁净度控制，这直接影响到电子工厂生产的效率和稳定性，也关系着厂房后续维护、清洁的成本。笔者根据参与某洁净室建设的经验，并结合《电子工厂洁净厂房设计规范》等标准，对洁净室建设的四个阶段（初级洁净、一般洁净、非常洁净、超洁净）的施工管理要点总结如下。
3.1初级洁净阶段
该阶段为洁净室主体结构施工阶段，是洁净室第一道洁净屏障的建设，包括土建施工、幕墙施工、门窗及管线施工等。最终交付成果为完成产生大量污染物的工作，实现建筑物主体的基本封闭。
施工要点：
（1）确保墙面完好、平整，混凝土与砖墙间应严丝合缝，避免出现裂痕；砖墙刷灰时注意分层施工，避免出现鼓包。
（2）洁净板墙体施工要合理设计排列方案，避免墙体间缝隙过大。
（3）主体结构施工完成后再撕掉洁净板保护膜，避免施工过程中被损毁、脏污。
（4）对施工过程中产生的大量灰尘与残渣要彻底清理干净，保持施工现场的整洁。
（5）确保洁净室门窗的密闭性，无需设置门槛，有效隔绝室外空气、噪音。
（6）墙壁内的暗敷管线施工一定要事前进行可行性技术论证，避免返工破坏墙壁。
着装要求：施工人员需着洁净的普通劳保防护装备。
3.2一般洁净阶段
该阶段主要是常规设备安装施工阶段，包括吊顶支架、送排风系统、冷热源系统、机械设备等的施工。最终交付成果为初步形成的洁净区。
施工要点：
（1）洁净区基本封闭，人员进出洁净区应遵守相应规定。
（2）施工材料进入洁净区前必须清洁干净，机具底部均贴好橡胶制软